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100%: Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XVI (ISBN: 9783036413129) Trans Tech Publications, Trans Tech Publications, in Deutsch, auch als eBook.Nur diese Ausgabe anzeigen…
82%: Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XV (ISBN: 9783035738018) in Englisch, auch als eBook.Nur diese Ausgabe anzeigen…
Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XVI
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Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XV
EN NW EB DLISBN: 9783035738018 bzw. 3035738017, in Englisch, neu, E-Book, elektronischer Download.
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This proceedings volume describes the recent progress in the field of ultra-clean surfaces and surface cleaning and preparation for the production of micro- and nanoelectronic integrated circuits and related subjects. This involves a wide variety of surfaces of mixed composition and with nano-topography with an aspect ratio of lateral dimension/vertical dimension on the order of 1/10. The goal of the processes is to obtain nano precise etching and cleaning, resulting in ultra-clean surfaces with very few residues or defects. This comprises different surface and cleaning steps throughout the entire device manufacturing process.
This proceedings volume describes the recent progress in the field of ultra-clean surfaces and surface cleaning and preparation for the production of micro- and nanoelectronic integrated circuits and related subjects. This involves a wide variety of surfaces of mixed composition and with nano-topography with an aspect ratio of lateral dimension/vertical dimension on the order of 1/10. The goal of the processes is to obtain nano precise etching and cleaning, resulting in ultra-clean surfaces with very few residues or defects. This comprises different surface and cleaning steps throughout the entire device manufacturing process.
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Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XVI
DE NW EBISBN: 9783036413129 bzw. 303641312X, in Deutsch, Trans Tech Publications, neu, E-Book.
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