Schallwandler in Silizium-Technologie (Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS)
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9783832286576 - Teeffelen, Kathrin van: Schallwandler in Silizium-Technologie.
Teeffelen, Kathrin van

Schallwandler in Silizium-Technologie. (2009)

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Teeffelen, Kathrin van

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1. Auflage kart. 146 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 227 gr. Kartoniert ISBN 9783832286576 Kondensatormikrophon ; MEMS ; Technische Membran ; Opferschicht ; Siliciumdioxid ; Herstellung; Kondensatormikrophon ; MEMS ; Technische Membran ; Opferschicht ; Silicium ; Germanium, Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau, neu.
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Kathrin van Teeffelen

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Taschenbuch, Ausgabe: 1., Auflage, Label: Shaker, Shaker, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2009-11-01, Studio: Shaker.
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Teeffelen, Kathrin van

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