Fertigungsverfahren der Feinwerktechnik : zukunftsweisende Anwendungen bewährter Technologien ; Tagung Darmstadt, 9. und 10. März 1993 / FVF '93. VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik / Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 1031
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