Excimerlasergestützte Technologien für die Mikroelektronik. Vom Fachbereich Regelungs- und Datentechnik der Technischen Hochschule Darmstadt.genehmigte Dissertation. Mit Abb.
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Spiess, Walter

Excimerlasergestützte Technologien für die Mikroelektronik. Vom Fachbereich Regelungs- und Datentechnik der Technischen Hochschule Darmstadt.genehmigte Dissertation. Mit Abb. (1989)

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142 S. Orig.-Karton. * "von Dipl.-Phys. Walter Spiess." (Titel, bzw. ".Dieburg" auf Einband). * (Ein Titel aus unserem Online-Katalog "Technik und Verkehr - Elektrotechnik, Nachrichtentechnik"). * Reihe: (Fortschritt-Berichte VDI-Z., Reihe 9 Elektronik, Nr. 96).
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