Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau
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Röntgendiffraktometrische Ermittlung tiefenabhängiger Eigenspannungsverteilungen in Dünnschichtsystemen mit komplexem Aufbau
DE PB NW
ISBN: 9783798321458 bzw. 3798321450, in Deutsch, Universitätsverlag der TU Berlin, Taschenbuch, neu.
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