Neuartiges Bauteilkonzept quasistatisch-resonanter 2D-Mikroscanner für die Zielanwendung ultrakompakter Laserprojektionsdisplays
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Von Händler/Antiquariat, AHA-BUCH GmbH [51283250], Einbeck, Germany.
This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware - Die Dissertation präsentiert ein neuartiges Mikroscanner-Bauteilkonzept für Anwendungen der Strahlsteuerung und in ultra-kompakten, hoch-auflösenden Laserprojektionsdisplays. Das Konzept nutzt die Vorteile elektrostatischer Kammantriebe in Bezug auf Miniaturisierbarkeit und Leistungsverbrauch des Scanner-Bauteils bei der Realisierung quasistatisch ausgeführter Scanbewegungen mit grossen mechanischen Ablenkwinkeln (bis zu 11.5°). In Kapitel 3 wird das Bauteil- und Technologiekonzept sowie die Bedeutung von Festkörpermechanismen für die kombinierte Fertigung von planaren und vertikalen Kammantrieben in einem volumenmikromechanischen Herstellungsprozess detailliert beschrieben. Kapitel 4 befasst sich mit den theoretischen Grundlagen des statischen und dynamischen Bauteilverhaltens. Den Schwerpunkt bilden neuartige Makromodellierungsansätze zur Erfassung der elektrostatischen, elektromechanisch gekoppelten und fluiddynamischen Domäne bei geringem Modellierungs- und Rechenaufwand. Die hieraus abgeleiteten Modelle werden in Kapitel 5 verwendet um die Eignung alternativer Elektrodengeometrien und Anordnungen zu untersuchen und gegenüberzustellen. Besonders effiziente, neuartige CAVC-Antriebselektroden werden vorgestellt. Kapitel 6 umfasst die Bauteiltechnologie. Der Fokus liegt auf dem für das Aufbaukonzept und die Realisierung vertikaler Kammantriebe zentralen, adhäsiven Waferbondverfahren mittels Benzocyclobuten (BCB). Kapitel 7 stellt ausgewählte Demonstratoren mit ihren charakteristischen Eigenschaften vor. Kapitel 8 befasst sich mit Heuristiken zur Steuerung und Regelung der nichtlinearen Regelstrecke sowie deren Eignung für die Strahlsteuerung und lineares Scannen. 153 pp. Deutsch.

Von Händler/Antiquariat, Rheinberg-Buch [53870650], Bergisch Gladbach, Germany.
Neuware - Die Dissertation präsentiert ein neuartiges Mikroscanner-Bauteilkonzept für Anwendungen der Strahlsteuerung und in ultra-kompakten, hoch-auflösenden Laserprojektionsdisplays. Das Konzept nutzt die Vorteile elektrostatischer Kammantriebe in Bezug auf Miniaturisierbarkeit und Leistungsverbrauch des Scanner-Bauteils bei der Realisierung quasistatisch ausgeführter Scanbewegungen mit grossen mechanischen Ablenkwinkeln (bis zu 11.5°). In Kapitel 3 wird das Bauteil- und Technologiekonzept sowie die Bedeutung von Festkörpermechanismen für die kombinierte Fertigung von planaren und vertikalen Kammantrieben in einem volumenmikromechanischen Herstellungsprozess detailliert beschrieben. Kapitel 4 befasst sich mit den theoretischen Grundlagen des statischen und dynamischen Bauteilverhaltens. Den Schwerpunkt bilden neuartige Makromodellierungsansätze zur Erfassung der elektrostatischen, elektromechanisch gekoppelten und fluiddynamischen Domäne bei geringem Modellierungs- und Rechenaufwand. Die hieraus abgeleiteten Modelle werden in Kapitel 5 verwendet um die Eignung alternativer Elektrodengeometrien und Anordnungen zu untersuchen und gegenüberzustellen. Besonders effiziente, neuartige CAVC-Antriebselektroden werden vorgestellt. Kapitel 6 umfasst die Bauteiltechnologie. Der Fokus liegt auf dem für das Aufbaukonzept und die Realisierung vertikaler Kammantriebe zentralen, adhäsiven Waferbondverfahren mittels Benzocyclobuten (BCB). Kapitel 7 stellt ausgewählte Demonstratoren mit ihren charakteristischen Eigenschaften vor. Kapitel 8 befasst sich mit Heuristiken zur Steuerung und Regelung der nichtlinearen Regelstrecke sowie deren Eignung für die Strahlsteuerung und lineares Scannen. 153 pp. Deutsch.

Von Händler/Antiquariat, Buchhandlung - Bides GbR [52676528], Dresden, Germany.
Neuware - Die Dissertation präsentiert ein neuartiges Mikroscanner-Bauteilkonzept für Anwendungen der Strahlsteuerung und in ultra-kompakten, hoch-auflösenden Laserprojektionsdisplays. Das Konzept nutzt die Vorteile elektrostatischer Kammantriebe in Bezug auf Miniaturisierbarkeit und Leistungsverbrauch des Scanner-Bauteils bei der Realisierung quasistatisch ausgeführter Scanbewegungen mit grossen mechanischen Ablenkwinkeln (bis zu 11.5°). In Kapitel 3 wird das Bauteil- und Technologiekonzept sowie die Bedeutung von Festkörpermechanismen für die kombinierte Fertigung von planaren und vertikalen Kammantrieben in einem volumenmikromechanischen Herstellungsprozess detailliert beschrieben. Kapitel 4 befasst sich mit den theoretischen Grundlagen des statischen und dynamischen Bauteilverhaltens. Den Schwerpunkt bilden neuartige Makromodellierungsansätze zur Erfassung der elektrostatischen, elektromechanisch gekoppelten und fluiddynamischen Domäne bei geringem Modellierungs- und Rechenaufwand. Die hieraus abgeleiteten Modelle werden in Kapitel 5 verwendet um die Eignung alternativer Elektrodengeometrien und Anordnungen zu untersuchen und gegenüberzustellen. Besonders effiziente, neuartige CAVC-Antriebselektroden werden vorgestellt. Kapitel 6 umfasst die Bauteiltechnologie. Der Fokus liegt auf dem für das Aufbaukonzept und die Realisierung vertikaler Kammantriebe zentralen, adhäsiven Waferbondverfahren mittels Benzocyclobuten (BCB). Kapitel 7 stellt ausgewählte Demonstratoren mit ihren charakteristischen Eigenschaften vor. Kapitel 8 befasst sich mit Heuristiken zur Steuerung und Regelung der nichtlinearen Regelstrecke sowie deren Eignung für die Strahlsteuerung und lineares Scannen. 153 pp. Deutsch.

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Broschiert, Ausgabe: 1., Auflage, Label: TUDpress Verlag der Wissenschaften Dresden, TUDpress Verlag der Wissenschaften Dresden, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2012-05, Studio: TUDpress Verlag der Wissenschaften Dresden, Verkaufsrang: 1728934.

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